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超微量气体流量计的发展与应用

发布时间:2022-09-26      点击次数:147
  一、气体计量在现代工业生产过程中占有重要地位,一方面,新工艺和新技术等制约其发展的关键领域的突破,尤其是微电子技术的迅速发展,使微量气体计量由机械式向智能化、模块化方向发展,其应用范围得到了极大的扩展;另一方面,随着环境监测、航空航天等应用领域对气体计量准确度要求的不断提高,对气体计量可靠校准和溯源的研究越来越受到重视。
 
  二、应用领域:
 
  1、超微量气体流量计适用于检测微小气体流量,在精密半导体产业、气体泄漏探测、真空镀膜等领域
 
  2、用于超微流量气体计量,测量精度可达ppm级别,可适用于普通气体、惰性气体、稀有气体及轻微腐蚀性气体的测量。适用于氢能、太阳能、沼气技术、环境微生物降解、污水处理、燃料电池等研究领域。
 
  三、特点:
 
  1、RTK超微量气体流量计采用自主发明技术GasMeteringCell(GMC),结合自主知识产权的软件,简便、精确、直接测量气体体积或质量,测量精度可达ppm级别。
 
  2、可根据需要拓展为多通道,轻松实现平行实验,提高工作效率和数据可靠对比性。
 
  四、原理:
 
  测量范围:最小流量为1毫升/天(ml/d),最大流量为50升/天(L/d)。
 
  测量精确度:<1%。
 
  测量分辨率:<1mL。
 
  通道数:4通道、8通道、16通道。
 
  数据显示:PC端界面数据、图形结合显示。
 
  适用范围:可用于各种常规气体及轻微腐蚀气体的测量。
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