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气体微量流量计是依据吸收热的速度直接与质量流量相关的原理

发布时间:2020-12-01      点击次数:80
  气体计量在现代工业生产过程中占有重要地位,一方面,新工艺和新技术等制约其发展的关键领域的突破,尤其是微电子技术的迅速发展,使气体微量流量计量由机械式向智能化、模块化方向发展,其应用范围得到了大的扩展;另一方面,随着环境监测、航空航天等应用领域对气体计量准确度要求的不断提高,对气体计量可靠校准和溯源的研究越来越受到重视。
 
  气体微量流量计是依据吸收热的速度直接与质量流量相关的原理,该仪表的传感器由两个基准级热电阻(铂RTD)组成。
 
  一个是质量速度传感器T1,一个是测量气体温度变化的温度传感器T2。当这两个RTD置于被测气体中时,其中传感器T1被加热到气体温度以上的一个恒定的温差,另一个传感器T2用于感应被测气体温度。
 
  随着气体质量流速的增加,气流带走更多热量,传感器T1的温度下降,要维持T1、T2恒定的温度差,T1的加热功率就要增大。根据热效应的金氏定律。
 
  移动的气体分子撞击热电阻时吸收带走热量,流量越大,接触热电阻的分子越多,吸收的热量越多,热吸收与某种气体的分子数,热学特性和流动特性有关。
 
  气体微量流量计适用于检测微小气体流量,在精密半导体产业、气体泄漏探测、真空镀膜等领域有着广泛的应用。
 
  应用范围
 
  用于气体微量流量计量,测量精度可达ppm级别,可适用于普通气体、惰性气体、稀有气体及轻微腐蚀性气体的测量。适用于氢能、太阳能、沼气技术、环境微生物降解、污水处理、燃料电池等研究领域。
 
  该流量计采用自主发明技术GasMeteringCell(GMC),结合自主知识产权的软件,简便、直接测量气体体积或质量,测量精度可达ppm级别。
 
  可根据需要拓展为多通道,轻松实现平行实验,提高工作效率和数据可靠对比性。
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